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  • FOUP系列
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    FOUP系列

    • 符合SEMI标准

    • 25pcs/12pcs可选

    • 批量交付

    • 多项专利设计

    • 优良的充气与气密性

    • 兼容性设计，支持与其他品牌混合使用

    • 多功能可选，支持差异化应用场景

  • SMIF POD系列
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    SMIF POD系列

    • 尺寸：6/8寸

    • 符合SEMI标准

    • 适配8 Inch SMIF机械接口
    • 匹配在线6 Inch &6.3 Inch Cassette
    • 优化的把手结构，防掉落设计
    • 支持多种颜色可选，便于制程管理
    • 6寸化合物半导体定制化POD解决方案

    • 箱体透明或橙色可选

    • 多项自主知产权改进，大幅度提高产品可靠性

  • Cassette系列
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    Cassette系列

    · 符合SEMI标准；
    · 适用4\" 6\" 6.3\" 8\"晶圆;
    · 容量 12pcs/13pcs/25pcs；
    · PP/PC/PBT/PEEK抗静电材质;
    · 可选装RFID等；
    · 大量实际应用案例
    · 可满足客户定制化需求；

  • 光罩盒系列
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    光罩盒系列

    • 6寸Canon光罩盒/Nikon光罩盒

    • 适用于Canon光刻机/Nikon光刻机

    • 符合SEMI标准

    • 适用5\"/6\"光罩
    • 容量 1 pcs
    • 抗静电耐磨材质




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