• 提供各类载具电子货架解决方案

• 大量FAB应用实例

• 可满足客户定制化需求

产品特征：

• 测量精准至10um
• 兼容性强，可兼容4\\ / 6\\ / 8\\ CST尺寸测量
• 自动化测量CST尺寸，效率高，测量90个点仅需3分钟
• 可设定多个Recipe且自动导入
• 可实现CST关键参数精准检测

• 可定制化存储产品（RSP、POD、FOUP）以及储位数量

• 自动感应 & 读取
• MES命令或本地终端操作
• 位置视觉识别 & 对准
• XCDA/N2 purge 可选

产品特征：

• 自动水冲洗 ＋热气吹干 ＋红外加热器烘干