理片器系列
全自动晶圆理片器
• 材质:PFA(ESD)
• 规格型号:4″ / 6″/8″/12″
• 对晶圆片进行整理(平边对齐等)
• 备注:该设备在光学精度、软件算法等方面综合技术壁垒很高,相关市场被科磊(KLA-Tencor)、日立等几个国外企业垄断。现我们自己开发销售,完全替代国外产品。
晶圆环系列
吸柄/手臂
• 材质:陶瓷
• 规格型号:4″/ 6″/8″/12″
晶圆吸笔系列
• 材质:PEEK
• 规格型号:4″/ 6″/8″/12″
• 适用4\"/6\"/8\"/12\"晶圆
• 抗静电耐磨材质
• 支持全定制